De Panasonic-aandrijving en holle-asmotor zorgen voor een lange- lange termijn, hoge- efficiëntie en stabiele werking.
Motorstructuur met holle as en hoge-snelheid: nominaal toerental: 5000 tpm, maximumsnelheid 6000-8000 tpm.
Ultra-snelle acceleratie-/deceleratietijd: 47750R/S².
Laag geluidsniveau, weinig trillingen, slingeringcoëfficiënt van het asuiteinde zo laag als 0,01 mm.
Het vacuüm holle asontwerp en het unieke aseindontwerp zorgen voor een soepele werking van de stukken.
Motorvermogen: 750/1000 W, water-gekoeld systeemontwerp, voldoet aan de vereisten van 6-inch, 8-inch en 12-inch wafers.
Aangepast aseindontwerp is beschikbaar voor verschillende gebruikers.
