Met de ontwikkeling van de Chinese halfgeleiderindustrie is de ontwikkeling van belangrijke componenten voor procesapparatuur een kritische beperking geworden voor de ontwikkeling van apparatuur. Naarmate de roep om de lokalisatie van binnenlandse halfgeleidertechnologie sterker wordt, zullen steeds meer knelpunttechnologieën in de halfgeleiderindustrie worden overwonnen. Gebaseerd op jarenlange ervaring in de halfgeleiderindustrie heeft ons bedrijf een holle-as-servomotor met hoge- snelheid ontwikkeld voor het adsorberen van wafers in apparatuur voor het coaten, ontwikkelen en reinigen van halfgeleiders. Deze motor beschikt over een hoge acceleratie, een breed snelheidsbereik en een hoog reactievermogen, en wordt alom geprezen door klanten in de branche.
Toepassingen van de servomotor met holle- as:
Belichtings- en ontwikkelingsapparatuur (coaten, ontwikkelen): De belangrijkste apparatuur voor fotolithografische processen, het regelen van coating, belichting en ontwikkeling.
Apparatuur voor het reinigen, coaten, ontwikkelen en verwijderen van films.
Geschikt voor fysieke spoelreiniging, deeltjesreiniging en sproeiprocessen.
Productspecificaties en toepassingsgebieden van servomotoren met holle as:
750W/1000W – 5000, 6000 tpm
Toepassingsgebieden (high-modellen):
8-inch en 12-inch halfgeleiderapparatuur.
Processen zoals coaten, ontwikkelen, reinigen en etsen.
De maximale acceleratie kan een onmiddellijke acceleratie van 50.000 R/S² bereiken.
Het speciale aseindontwerp zorgt voor de laagste slingeringscoëfficiënt van de aseindbelasting.
